一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺
基本信息
| 申请号 | CN202111556879.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114061556A | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN114061556A | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | G01C19/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭中洋 | 申请（专利权）人 | 北京芯动致远微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 王琪;陆淑贤 |
| 地址 | 233042安徽省蚌埠市财院路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦机构之间通过菱形耦合机构相连，所述各机构和驱动电容通过各自的锚点固定。采用压阻/压电检测，有利于减小陀螺体积，提高精度；采用杠杆耦合检测机构和菱形耦合机构，提高陀螺力学环境适应性；压阻/压电检测梁与杠杆相连，提高陀螺灵敏度；杠杆两端通过外解耦合机构与检测质量块相连，有利于提高陀螺灵敏度和精度。 |
