一种多晶硅还原炉
基本信息
| 申请号 | CN201721236023.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207330377U | 公开（公告）日 | 2018-05-08 |
| 申请公布号 | CN207330377U | 申请公布日 | 2018-05-08 |
| 分类号 | C01B33/035;C01B33/03 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 徐小萍;何其金;迮德娟;张靖;方艺霖;何飞 | 申请（专利权）人 | 江苏康博新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种多晶硅还原炉，包括冷却水进口(1)、炉体(2)、冷却层(3)、硅棒(4)、电极(5)、进料喷嘴(6)、冷却水出口(7)、底座(8)、轴承(9)、滑扣(10)、方形槽(11)、圆形槽(12)，其特征在于：所述炉体(2)顶部设有冷却水进口(1)，底部一侧设有冷却水出口(7)，所述炉体(2)内侧设有冷却层(3)，冷却层(3)中通入循环冷却水，所述炉体(2)置于底座(8)上，底座(8)中心设有电极(5)，电极(5)上设有硅棒(4)，电极(5)内部设有方形槽(11)和圆形槽(12)，方形槽(11)设于圆形槽(12)上方，硅棒(4)底部设有轴承(9)，轴承(9)连接滑扣(10)，电极(5)四周等距离设置若干进料喷嘴(6)。 |
