一种多晶硅精馏尾气再回收装置

基本信息

申请号 CN201721229394.3 申请日 -
公开(公告)号 CN207243480U 公开(公告)日 2018-04-17
申请公布号 CN207243480U 申请公布日 2018-04-17
分类号 C01B33/107 分类 无机化学;
发明人 徐小萍;何其金;迮德娟;张靖;方艺霖;何飞;施靖 申请(专利权)人 江苏康博新材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道
法律状态 -

摘要

摘要 一种多晶硅精馏尾气再回收装置,包括精馏塔组、存储塔、反歧化反应塔、冷凝器,精馏塔组的排空气体由第一排空管进入存储塔,存储塔出口通过第二排空管连接反歧化反应塔,反歧化反应塔底部连接有回收管道,顶部连接有第三排空管,第三排空管连接冷凝器,冷凝器连接除液排空装置。精馏尾气由存储罐集中回收,经反歧化反应塔反应后,部分生成原料三氯氢硅,提高了物料利用率,减轻尾气回收装置的生产负荷,提高了装置生产的稳定性,减少水或碱液的添加量,降低生产成本,放空尾气中有效成分被回收利用,减少了尾气冷凝的供冷需求,降低了制冷系统的负荷。