一种改进的四氯化硅冷氢化反应器

基本信息

申请号 CN201721213318.3 申请日 -
公开(公告)号 CN207243479U 公开(公告)日 2018-04-17
申请公布号 CN207243479U 申请公布日 2018-04-17
分类号 C01B33/107 分类 无机化学;
发明人 方艺霖;何飞;徐小萍;何其金;迮德娟;张靖 申请(专利权)人 江苏康博新材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,特别是指一种改进的四氯化硅冷氢化反应器,所述反应器一侧底端设有所述进料管道,所述进料管道与反应器成一定倾斜角度,所述进料管道另一头分别连接所述第一进料斗和第二进料斗,所述第一进料斗和第二进料斗相互连通,连通的部分为所述储料室,所述进料管道中设有所述第一球阀、第二球阀和第三球阀,所述第一球阀与第二球阀之间为第一真空室,设有所述第一充气口,所述第二球阀与第三球阀之间为第二真空室,设有所述第二充气口,所述第一真空室和第二真空室同时连接所述真空抽气阀。本实用新型实现了硅粉的稳定持续补充,保证了生产反应的连续进行,降低生产能耗,增加生产效率,提高了生产设备操作的安全性。