一种改进的四氯化硅冷氢化反应器
基本信息

| 申请号 | CN201721213318.3 | 申请日 | - |
| 公开(公告)号 | CN207243479U | 公开(公告)日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN207243479U | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 方艺霖;何飞;徐小萍;何其金;迮德娟;张靖 | 申请(专利权)人 | 江苏康博新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要

| 摘要 | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,特别是指一种改进的四氯化硅冷氢化反应器,所述反应器一侧底端设有所述进料管道,所述进料管道与反应器成一定倾斜角度,所述进料管道另一头分别连接所述第一进料斗和第二进料斗,所述第一进料斗和第二进料斗相互连通,连通的部分为所述储料室,所述进料管道中设有所述第一球阀、第二球阀和第三球阀,所述第一球阀与第二球阀之间为第一真空室,设有所述第一充气口,所述第二球阀与第三球阀之间为第二真空室,设有所述第二充气口,所述第一真空室和第二真空室同时连接所述真空抽气阀。本实用新型实现了硅粉的稳定持续补充,保证了生产反应的连续进行,降低生产能耗,增加生产效率,提高了生产设备操作的安全性。 |





