一种钟罩自动清洗机
基本信息
| 申请号 | CN201721245956.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207401813U | 公开（公告）日 | 2018-05-25 |
| 申请公布号 | CN207401813U | 申请公布日 | 2018-05-25 |
| 分类号 | B08B3/02;F26B21/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 迮德娟;何其金;张靖;方艺霖;何飞;徐小萍 | 申请（专利权）人 | 江苏康博新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体行业外延钟罩清洗领域，特别是指一种钟罩自动清洗机，包括密封盖、壳体、钟罩、工作台、连接室、进气口、圆形喷头、升降杆、直喷头、电机、升降装置、进水口、水泵、电磁阀、气动阀、风机、PLC控制系统，所述壳体上方设有所述密封盖，底端设有所述工作台，所述钟罩置于所述工作台上，所述钟罩内部设有所述升降杆，所述升降杆上设有所述圆形喷头和若干直喷头，所述升降杆穿过所述工作台与下端的所述电机相连，电机下端依次设有所述升降装置和连接室，所述进水口一端管道上分别设有所述水泵和电磁阀，所述进气口一端管道上分别设有所述风机和气动阀。本实用新型实现了全自动化清洗，省时省力，工作效率高。 |
