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三轴微型传感器高低温测试装置及其测试方法

基本信息

申请号	CN201910365481.9	申请日	-
公开（公告）号	CN110044383A	公开（公告）日	2019-07-23
申请公布号	CN110044383A	申请公布日	2019-07-23
分类号	G01C25/00	分类	测量；测试;
发明人	华亚平	申请（专利权）人	安徽芯动联科微系统股份有限公司
代理机构	蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司	代理人	安徽北方芯动联科微系统技术有限公司
地址	233042 安徽省蚌埠市财院路10号
法律状态	-

摘要

三轴微型传感器高低温测试装置，包括温箱、主转轴系统、副转轴系统和测试板；主转轴系统包括主马达、主转轴和配重；副转轴系统包括副马达、底盘和三个定向柱，主马达驱动副转轴系统、测试板及待测样品旋转，为待测样品提供旋转激励信号；副马达驱动三个定向柱沿主转轴斜面旋转0°、+120°、‑120°，测试板和副转轴系统位于温箱内，可以测试待测样品在不同温度下的性能。本装置只需一个主马达和一个副马达，就可驱动测试板，对待测样品施加X、Y、Z三个轴向的激励信号，具有体积小，控制简单，造价低，产能高等优点。本发明还涉及三轴微型传感器的高低温测试方法，该方法操作简单，同时测试三个轴向的信号，一次可以测试多个样品，产能高。