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一种氮化铝的制备方法

基本信息

申请号 CN201110348481.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102412123B 公开（公告）日 2013-06-19
申请公布号 CN102412123B 申请公布日 2013-06-19
分类号 H01L21/203(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 范亚军 申请（专利权）人 中山市格兰特实业有限公司火炬分公司
代理机构 中山市科创专利代理有限公司 代理人 谢自安
地址 528400 广东省中山市火炬开发区火炬大道13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种氮化铝的制备方法，其特征在于包括如下步骤：a)衬底清洗；b)衬底除气；c)衬底氮化；d)氮化铝成核层生长；e)氮化铝外延层生长。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种工艺简单，污染少，环保节能，成本低的氮化铝的制备方法。