一种具有可见光响应的磁控溅射自清洁玻璃的制备方法

基本信息

申请号 CN201110348492.X 申请日 -
公开(公告)号 CN102515566B 公开(公告)日 2013-10-30
申请公布号 CN102515566B 申请公布日 2013-10-30
分类号 C03C17/245(2006.01)I;C03C17/34(2006.01)I 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 林改 申请(专利权)人 中山市格兰特实业有限公司火炬分公司
代理机构 中山市科创专利代理有限公司 代理人 谢自安
地址 528400 广东省中山市火炬开发区火炬大道13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有可见光响应的磁控溅射自清洁玻璃的制备方法,其特征在于包括如下步骤:制备溅射二氧化钛混合靶;制备锡靶;制备硅靶;烘干玻璃表面;利用磁控溅射法在玻璃表面溅射二氧化锡薄膜;溅射二氧化硅薄膜;溅射二氧化钛薄膜。本发明目的是克服了现有技术的不足,提供一种透过率高,镀膜层与玻璃基材的结合力强、镀膜层致密、均匀,在可见光下具有自清洁功能的具有可见光响应的磁控溅射自清洁玻璃的制备方法。