一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔

基本信息

申请号 CN202021561147.5 申请日 -
公开(公告)号 CN213314182U 公开(公告)日 2021-06-01
申请公布号 CN213314182U 申请公布日 2021-06-01
分类号 C01B3/56(2006.01)I;B01J20/34(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 杨楠;李寿琴;贾琳蔚;陈绍林 申请(专利权)人 云南通威高纯晶硅有限公司
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 代理人 赵丽
地址 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔,属于多晶硅生产技术领域,包括吸附塔主体,吸附塔主体上方设置有第一气体进出口,吸附塔主体下方设置有第二进出气口,吸附塔主体竖直方向设置有多个加热管,加热管为下端封口的中空管,加热管内设置有绝缘导热层和电加热丝,吸附塔主体内填充有活性炭。本实用新型具有再生性能好、热量利用率高、产品纯度高和运营成本低等优点。