一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔
基本信息
申请号 | CN202021561147.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213314182U | 公开(公告)日 | 2021-06-01 |
申请公布号 | CN213314182U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
分类号 | C01B3/56(2006.01)I;B01J20/34(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 杨楠;李寿琴;贾琳蔚;陈绍林 | 申请(专利权)人 | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
代理机构 | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 赵丽 |
地址 | 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔,属于多晶硅生产技术领域,包括吸附塔主体,吸附塔主体上方设置有第一气体进出口,吸附塔主体下方设置有第二进出气口,吸附塔主体竖直方向设置有多个加热管,加热管为下端封口的中空管,加热管内设置有绝缘导热层和电加热丝,吸附塔主体内填充有活性炭。本实用新型具有再生性能好、热量利用率高、产品纯度高和运营成本低等优点。 |
