用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴

基本信息

申请号 CN202021948624.3 申请日 -
公开(公告)号 CN213326755U 公开(公告)日 2021-06-01
申请公布号 CN213326755U 申请公布日 2021-06-01
分类号 C01B33/035(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 贾琳蔚;朱彬;陈彬;杨楠;陈绍林;李寿琴;刘逸枫;甘居富 申请(专利权)人 云南通威高纯晶硅有限公司
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 代理人 向丹
地址 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,属于多晶硅生产设备技术领域。包括喷嘴芯体和喷嘴壳体,喷嘴芯体内形成第一进气腔和收缩口;喷嘴壳体下部套设在喷嘴芯体外侧,喷嘴壳体顶端形成喷口,喷嘴壳体内形成第二进气腔;喷嘴壳体上设置用于外源气进入的开口,开口与第二进气腔连通。喷嘴喷射时,第二进气腔内形成低压区,第二进气腔外的外源气会被吸入;在第二进气腔中,外源气与原料气混合,两者共同从顶部喷口喷射,顶部喷口喷射的气体流量大于喷嘴底部的进气流量,使得喷嘴出气喷射更高,有效提高炉内各组分分布的均匀性,进而减少硅棒上疏松、珊瑚状等非致密沉积,提高硅棒产品质量,降低电耗。