一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置
基本信息
| 申请号 | CN202021559331.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213314181U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213314181U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C01B3/56（2006.01）I;B01J20/34（2006.01）I;B01D53/04（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 杨楠;李寿琴;贾琳蔚;陈绍林 | 申请（专利权）人 | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
| 代理机构 | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵丽 |
| 地址 | 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置，属于多晶硅生产技术领域，包括4个吸附塔，吸附塔下方设置有第一进出气口，第一进出气口分别与原料进管、第一循环管线、热氢出管和第二循环管线相连，第一循环管线与第二循环管线的连接处设置有冷却器，吸附塔上方设置有第二气体进出口，第二气体进出口分别与热氢进管、产品出管和第三循环管线相连。本实用新型具有再生性能好、热量利用率高、产品纯度高和运营成本低等优点。 |
