一种菱形硅芯的卡件

基本信息

申请号 CN202021941348.8 申请日 -
公开(公告)号 CN213326754U 公开(公告)日 2021-06-01
申请公布号 CN213326754U 申请公布日 2021-06-01
分类号 C01B33/035(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 杨楠;李寿琴;贾琳蔚;陈绍林 申请(专利权)人 云南通威高纯晶硅有限公司
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 代理人 赵丽
地址 678100云南省保山市昌宁园中园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种菱形硅芯的卡件,属于多晶硅生产技术领域,包括底座、尖嘴和固定环,所述底座下端底部开设有凹孔,所述尖嘴放置在底座上,所述固定环套设在底座和尖嘴的外侧,固定环套用于固定底座和尖嘴,所述固定环包括上套环,所述上套环与尖嘴紧密配合,所述尖嘴中部开设有用于固定菱形硅芯的通孔,解决了现有技术中硅芯卡件不能与菱形硅芯紧密配合,达不到稳定固定菱形硅芯的目的;且卡件结构复杂,制造卡件工艺繁杂,导致成本高;以及晶体硅的沉积效率低,产品收率低的问题。