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一种还原炉的多管式进料系统

基本信息

申请号 CN202021559530.7 申请日 -
公开（公告）号 CN213141422U 公开（公告）日 2021-05-07
申请公布号 CN213141422U 申请公布日 2021-05-07
分类号 C01B33/03(2006.01)I 分类 -
发明人 贾琳蔚;朱彬;陈彬;陈绍林;杨楠;李寿琴;刘逸枫;甘居富 申请（专利权）人 云南通威高纯晶硅有限公司
代理机构 成都天嘉专利事务所（普通合伙） 代理人 向丹
地址 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种还原炉的多管式进料系统，属于多晶硅生产中进料控制技术领域。包括与气化氯硅烷和氢气供料总管连接的至少两个进料主管，进料主管上均设置阀门和多个进料支管，阀门设置在气化氯硅烷和氢气供料总管与进料支管之间；还原炉中底盘上设置至少两组喷嘴，每组喷嘴之间呈间隔且均匀分布设置；进料主管的数量与喷嘴组数相等，每组喷嘴通过进料支管与对应进料主管连通。根据不同阶段的需料量，进行进料控制，解决喷嘴供料不均匀等问题；并使得在不同的进料量下维持喷嘴喷射的高度，解决炉内顶部流动性差、相对死区等问题，进而降低疏松、呈珊瑚状等非致密气相沉积的现象，有效提高硅料品质而不牺牲电耗的目的。