一种去除小颗粒多晶硅料中表面杂质用清洗装置
基本信息
申请号 | CN202021561148.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213134261U | 公开(公告)日 | 2021-05-07 |
申请公布号 | CN213134261U | 申请公布日 | 2021-05-07 |
分类号 | B08B3/10(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 杨楠;李寿琴;贾琳蔚;陈绍林 | 申请(专利权)人 | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
代理机构 | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 赵丽 |
地址 | 678100云南省保山市工贸园区昌宁园中园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种去除小颗粒多晶硅料中表面杂质用清洗装置,属于多晶硅生产技术领域,包括池体,池体上端开口且下端封闭,池体上方设置有溢流堰,溢流堰上设置有导流管,池体底部设置有进液口和气体分布板,进液口与进液管相连,气体分布板与进气管相连,体中部设置有导流筒,导流筒通过支腿与池体内壁固定连接。本实用新型具有良好的清洗性能且更节省人力成本。 |
