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基于石墨烯的探测器作为非接触式静电探测器的应用

基本信息

申请号 CN201710601812.5 申请日 -
公开（公告）号 CN107490730A 公开（公告）日 2017-12-19
申请公布号 CN107490730A 申请公布日 2017-12-19
分类号 G01R29/12(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 梁铮;王文辉;倪振华 申请（专利权）人 泰州巨纳新能源有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 泰州巨纳新能源有限公司;泰州新飞光电有限公司
地址 225300 江苏省泰州市凤凰西路168号5号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了基于石墨烯的探测器作为非接触式静电探测器的应用，所述的探测器包括Si/SiO2衬底、设在Si/SiO2衬底上的石墨烯和设在石墨烯上的金属电极；所述的Si/SiO2衬底由底部的Si和Si上方的SiO2组成；所述的Si是轻掺杂Si衬底，电阻率为1‑100 Ω cm；所述的SiO2的厚度为50‑500 nm；所述的石墨烯是单层、双层或3‑10层的少层石墨烯；所述的金属电极为金、镍或铂。本发明的有益效果如下：本发明的基于石墨烯的探测器的新用途，其作为非接触式静电探测器，可以提高现有静电探测器探测微弱静电信号的能力。