真空钎焊炉
基本信息
申请号 | CN202111450430.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114043033A | 公开(公告)日 | 2022-02-15 |
申请公布号 | CN114043033A | 申请公布日 | 2022-02-15 |
分类号 | B23K3/04(2006.01)I;B23K3/08(2006.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 林佳继;龙占勇;罗迎春;李洪;李东林 | 申请(专利权)人 | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
代理机构 | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 董世博 |
地址 | 518118广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了真空钎焊炉,包括真空系统、冷凝脱脂系统和炉体,炉体内设置有控温系统、冷却系统、工艺管路系统、装载系统和接线柱系统,真空系统至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路,一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的炉体压力,本发明采用高真空气动挡板阀作为各回路的开关阀,采用旋片泵获得炉体低真空1‑10Pa,满足脱脂工艺要求和油扩散泵的启动要求,采用罗茨泵作为炉体二级泵,是油扩散泵的前级泵,通过旋片泵与罗茨泵的组合运行,炉体获得压力值为10‑1‑10‑2Pa的真空,采用油扩散泵作为炉体主泵,通过旋片泵、罗茨泵及油扩散泵的组合运行,炉体获得压力值为10‑3‑10‑4Pa的真空。 |
