一种新型扩散方法
基本信息
| 申请号 | CN202111359969.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114171377A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114171377A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | H01L21/223（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 林佳继;祁文杰;梁笑;范伟;毛文龙;卢佳 | 申请（专利权）人 | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天昊专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 董世博;卓彩霞 |
| 地址 | 518118广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型扩散方法，在炉管进气端增加匀流装置，使得气体进入炉管后被均匀打散，避免气流直接对硅片进行冲击，改善了炉尾上中下的片间差异。本发明通源时在近出气口处补充氮气，稀释掺杂源，将气体混合并推动，改善了局部掺杂源的浓度差异，提高了硅片方阻均匀性，可以在不改变现有的排气结构下改善排气管进口位置片间的均匀性，且对其他舟内的方阻无影响，可实现单独调控区域方阻。 |
