一种掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010976775.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112176302B 公开(公告)日 2022-07-19
申请公布号 CN112176302B 申请公布日 2022-07-19
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王国伟;黄鹏;樊鹏飞 申请(专利权)人 苏州方林科技股份有限公司
代理机构 苏州卓博知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 215151江苏省苏州市高新区鸿禧路136
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层及其制备方法,包含镍镀层、镍金梯度镀层和纯金镀层,镍金梯度镀层在镍镀层和纯金镀层中间,镍金梯度镀层掺杂有镧、铈、铒、钇中的至少一种稀土元素。镍金梯度镀层掺杂的稀土元素所占质量比为0.02%~0.2%。本发明的掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层利用磁控溅射镀膜技术制备,通过该方法制备的掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层可以改善镀层的致密度、覆盖性,提高金镀层和铜基材的结合能力,改善产品的导电性能和焊接性能,同时又降低了贵金属的使用量,该方法制备的产品成本低廉,节能环保,非常适用于微纳米电子工业。