一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201410155592.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103966657B | 公开（公告）日 | 2017-04-19 |
| 申请公布号 | CN103966657B | 申请公布日 | 2017-04-19 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李帅;赵百通;高文秀 | 申请（专利权）人 | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海科律专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 金碎平 |
| 地址 | 214222 江苏省无锡市宜兴经济开放区文庄路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法，所述铸锭炉包括石英坩埚，其中，所述石英坩埚的外侧设有第一感应加热器，底部设有第二感应加热器，顶部设有第三感应加热器，所述石英坩埚外设有石墨坩埚，所述石英坩埚和石墨坩埚之间设有隔热层，所述第一感应加热器围绕设置在石墨坩埚的外侧。本发明提供的多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法，通过采用双层坩埚并在不同方位设置多个感应加热器，利用螺旋线圈产生交变磁场在多晶硅原料和溶液内产生涡旋电流，由于感应线圈处在高温热区之外，加热时热损耗较少；通过对感应加热器的线圈排布进行优化设计，在炉内实现精准的定向温度梯度，更好地控制长晶方向并进行快速的定向凝固。 |
