一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201510145395.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104695009B | 公开（公告）日 | 2017-04-19 |
| 申请公布号 | CN104695009B | 申请公布日 | 2017-04-19 |
| 分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 高文秀;赵百通;李帅 | 申请（专利权）人 | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海科律专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 金碎平 |
| 地址 | 214213 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法，所述单晶炉包括顶部的副腔室与底部的加热腔室，所述副腔室与加热腔室之间设有活动隔板，所述副腔室的侧壁安装有伸缩杆和加料腔室，所述伸缩杆为硬质空心杆，所述硬质空心杆的杆头上安装有电阻率测试探头，所述电阻率测试探头的连接导线处于硬质空心杆中；所述加料腔室带有内外密封盖板并连接有惰性气体管路。本发明通过设置活动隔板割离副腔室与加热腔室，并在副腔室侧壁安装带探头的伸缩杆和可独立封闭的加料腔室，从而可方便及时地根据需要随时在硅熔液中加入不同掺杂剂，对电阻率进行在线调节，大大提高拉制单晶硅棒的质量。 |
