采用补偿硅料的n型单晶硅拉制方法
基本信息
申请号 | CN201510145846.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104746134B | 公开(公告)日 | 2017-08-22 |
申请公布号 | CN104746134B | 申请公布日 | 2017-08-22 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 高文秀;李帅;赵百通 | 申请(专利权)人 | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
代理机构 | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 金碎平 |
地址 | 214213 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种采用补偿硅料的n型单晶硅拉制方法,包括如下步骤:a)选用含有磷和硼的n型多晶硅原料;b)将n型多晶硅原料投入单晶炉主加热腔室中,加热熔化后使用n型晶向的籽晶引晶拉制形成单晶硅棒;c)将单晶硅棒向上提起放入单晶炉副腔室,关闭主加热腔室与副腔室闸板,并向副腔室冲入氩气,对单晶硅棒进行冷却。本发明通过选用含有磷和硼的n型多晶硅原料,无需再添加额外的n型或p型掺杂剂,降低太阳能电池成本;并且由于硅液中同时含有大量的磷和硼,一定含量的硼的分凝,对于磷的小的分凝系数所造成的电阻率分布梯度大,起到一定的补偿的作用,从而使得n型单晶硅片的电阻率分布更加集中均匀。 |
