采用补偿硅料的n型单晶硅拉制方法

基本信息

申请号 CN201510145846.9 申请日 -
公开(公告)号 CN104746134B 公开(公告)日 2017-08-22
申请公布号 CN104746134B 申请公布日 2017-08-22
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 高文秀;李帅;赵百通 申请(专利权)人 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司
代理机构 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 金碎平
地址 214213 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种采用补偿硅料的n型单晶硅拉制方法,包括如下步骤:a)选用含有磷和硼的n型多晶硅原料;b)将n型多晶硅原料投入单晶炉主加热腔室中,加热熔化后使用n型晶向的籽晶引晶拉制形成单晶硅棒;c)将单晶硅棒向上提起放入单晶炉副腔室,关闭主加热腔室与副腔室闸板,并向副腔室冲入氩气,对单晶硅棒进行冷却。本发明通过选用含有磷和硼的n型多晶硅原料,无需再添加额外的n型或p型掺杂剂,降低太阳能电池成本;并且由于硅液中同时含有大量的磷和硼,一定含量的硼的分凝,对于磷的小的分凝系数所造成的电阻率分布梯度大,起到一定的补偿的作用,从而使得n型单晶硅片的电阻率分布更加集中均匀。