多级吹扫式硅片制绒处理装置及其控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201510167176.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104752565B | 公开（公告）日 | 2017-01-04 |
| 申请公布号 | CN104752565B | 申请公布日 | 2017-01-04 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高文秀;李帅;赵百通 | 申请（专利权）人 | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海科律专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 金碎平;袁亚军 |
| 地址 | 214213 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多级吹扫式硅片制绒处理装置及其控制方法，包括反应腔室，所述反应腔室内设有硅片运动载台，其中，所述反应腔室上至少设有两个等离子体下游吹扫式处理单元，所述反应腔室的进口处设有前缓冲腔室和前闸板阀，所述反应腔室的出口处设有后缓冲腔室和后闸板阀，所述反应腔室上靠近后缓冲腔室处设有反应腔真空抽口，所述硅片运动载台的下方设有恒温辐射块。本发明提供的多级吹扫式硅片制绒处理装置及其控制方法，采用了多级吹扫式硅片处理单元，可方便采用独立的工作气体流量比例及刻蚀时间，实现快捷高效的硅片处理过程；配合硅片运动载台及恒温辐射块提高刻蚀速率，从而实现在线连续处理，并提高硅片制绒效果。 |
