一种用于检测晶圆的测试设备
基本信息
| 申请号 | CN202122311925.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215812934U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215812934U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨兆明;曾春耕;张鲲 | 申请（专利权）人 | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于检测晶圆的测试设备，属于晶圆测试技术领域，它解决了目前的测试设备无法对不同大小的晶圆进行固定测试的问题。本用于检测晶圆的测试设备，包括检测台，检测台的右侧固定有第一电机，第一电机的输出轴栓接有螺杆，螺杆的另一端延伸至检测台的内部并与检测台的内壁转动连接，螺杆表面的两侧均螺纹连接有螺套，螺套的顶部焊接有弧形板，且两个弧形板之间设置有晶圆本体，检测台顶部的左侧设置有外壳，外壳的内部固定有第二电机，第二电机的输出轴栓接有转盘，转盘的表面焊接有活动块，且活动块的表面滑动连接有槽板。本实用新型能够对不同大小的晶圆进行固定测试，并提高了晶圆测试的工作效率。 |
