一种晶圆测试机
基本信息
| 申请号 | CN202122300767.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215680651U | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN215680651U | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨兆明;曾春耕;张鲲 | 申请（专利权）人 | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种晶圆测试机，属于晶圆测试技术领域，它解决了现有的测试装置不能够自动对晶圆进行固定的问题。本晶圆测试机，包括箱体，箱体内壁的底部固定有底座，底座的顶部固定有压力传感器，压力传感器的顶部固定有放置台，放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆。本实用新型通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利。 |
