一种自适应抛光头
基本信息
| 申请号 | CN202111363038.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113910100A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113910100A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | B24B37/10（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B41/047（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 杨兆明;谢亚楠;李晓峰 | 申请（专利权）人 | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张春辉 |
| 地址 | 314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种自适应抛光头，包括：固定座和设置在固定座下方的固定板，固定板下方设置有底板总成，固定板与底板总成之间夹设有密封膜，底板总成的底面设置有用于吸附晶圆的吸附垫。固定板与密封膜之间设置有第一加压区，第一加压区和底板总成之设置有用于连接底板总成的限位块，密封膜设置在限位块的下方；固定座的顶面向下贯穿至第一加压区设置有第一加压通道，固定板的顶面向下贯穿至第一加压区设置有调整座；调整座下方安装有调整柱，调整柱用于限位防止限位块和底板总成向下脱落；当限位块受力向上移动时，限位块将脱开调整柱的限位，令第一加压区与限位块的下方连通，从而将第一加压区的气体充入密封膜内，密封膜充气可膨胀。 |
