接触式厚度测量装置、使用该装置的系统及其测量方法
基本信息
| 申请号 | CN202010236288.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111272058A | 公开（公告）日 | 2020-06-12 |
| 申请公布号 | CN111272058A | 申请公布日 | 2020-06-12 |
| 分类号 | G01B7/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 叶胜钱;周新聊;李涛;夏滨;张生海;田勇;杨海明 | 申请（专利权）人 | 北京二十一世纪科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京开阳星知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨中鹤 |
| 地址 | 100096北京市海淀区建材城东路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及厚度测量技术领域，特别涉及一种接触式厚度测量装置、使用该装置的系统及其测量方法。包括第一卡件、第二卡件、伸缩部、第一导向部、第二导向部、基座部以及位移传感部，伸缩部的其中一个伸缩端用于驱动第一卡件沿第一导向部运动，伸缩部的另一个伸缩端用于驱动第二卡件沿第二导向部运动，第一卡件与第二卡件的相对运动方向平行于伸缩部的伸缩方向，第一卡件与第二卡件之间形成测量口，基座部用于为第一导向部和第二导向部提供支撑，位移传感部用于测量伸缩部的位移量。本方案避免了需要对被测物体位置进行调整的过程，有效的减少了机械设备的投入，降低了测量的难度，提高了测量的精度，降低了生产成本，使得测量过程更为快速高效。 |
