一种单晶碳晶纳米镀膜方法及反应器
基本信息
| 申请号 | CN201910207690.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109763168A | 公开（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申请公布号 | CN109763168A | 申请公布日 | 2019-05-17 |
| 分类号 | C30B29/04（2006.01）I; C30B25/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 卢国东; 陈密; 顾风军; 瞿如娟; 黎川 | 申请（专利权）人 | 苏州彩生新材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都为知盾专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李汉强;杨宜付 |
| 地址 | 215400 江苏省苏州市太仓市城厢镇郑和中路309号2幢502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶碳晶纳米镀膜方法及反应器，其包括一面敞口的炉体和面板，所述面板安装在炉体的敞口面上整体形成封闭的反应器，所述炉体内设置有隔板，隔板一端安装在炉体内侧壁上，另一端设置为向上倾斜翘起，所述隔板上还设置有两挡板，两挡板之间形成基材放置区域；所述炉体的上端面设置有铜柱和进气口，下端面设置有铜柱和出气口，炉体的一侧壁上设置有进气口，另一个相对的侧壁上设置有激光口。本发明结构简单、操作方便、镀膜效率高，具有较好的市场推广价值和应用前景。 |
