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一种单晶碳晶纳米镀膜反应器

基本信息

申请号 CN201920346984.7 申请日 -
公开（公告）号 CN209652475U 公开（公告）日 2019-11-19
申请公布号 CN209652475U 申请公布日 2019-11-19
分类号 C30B29/04（2006.01）I; C30B25/00（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 卢国东; 陈密; 顾风军; 瞿如娟; 黎川 申请（专利权）人 苏州彩生新材料有限公司
代理机构 成都为知盾专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 李汉强;杨宜付
地址 215400 江苏省苏州市太仓市城厢镇郑和中路309号2幢502室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶碳晶纳米镀膜反应器，其包括一面敞口的炉体和面板，所述面板安装在炉体的敞口面上整体形成封闭的反应器，所述炉体内设置有隔板，隔板一端安装在炉体内侧壁上，另一端设置为向上倾斜翘起，所述隔板上还设置有两挡板，两挡板之间形成基材放置区域；所述炉体的上端面设置有铜柱和进气口，下端面设置有铜柱和出气口，炉体的一侧壁上设置有进气口，另一个相对的侧壁上设置有激光口。本实用新型结构简单、操作方便、镀膜效率高，具有较好的市场推广价值和应用前景。