一种用于生长多晶硅的坩埚
基本信息
申请号 | CN201620800511.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206089878U | 公开(公告)日 | 2017-04-12 |
申请公布号 | CN206089878U | 申请公布日 | 2017-04-12 |
分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 赵春峰;李胜忠;金晓荣;徐君锋;乔新国 | 申请(专利权)人 | 浙江精功新能源有限公司 |
代理机构 | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 蒋卫东 |
地址 | 312000 浙江省绍兴市柯桥区柯西工业区鉴湖路1809号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于生长多晶硅的坩埚,包括埚体,埚体的四周壁上布置有护板,所述护板内镶嵌有二氧化硅气凝胶层。本实用新型用于生长多晶硅的坩埚具有质轻,拆装方便,且可生长出高质量多晶硅等优点。 |
