一种用于多晶硅坩埚的护板

基本信息

申请号 CN201620800522.4 申请日 -
公开(公告)号 CN206127476U 公开(公告)日 2017-04-26
申请公布号 CN206127476U 申请公布日 2017-04-26
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 金晓荣;李胜忠;赵春峰;朱海峰;孟庆雷 申请(专利权)人 浙江精功新能源有限公司
代理机构 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) 代理人 蒋卫东
地址 312000 浙江省绍兴市柯桥区柯西工业区鉴湖路1809号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于多晶硅坩埚的护板,包括护板,还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚。本实用新型用于多晶硅坩埚的护板可提高互换性和利用率。