一种多晶硅坩埚护板

基本信息

申请号 CN201620800523.9 申请日 -
公开(公告)号 CN206070042U 公开(公告)日 2017-04-05
申请公布号 CN206070042U 申请公布日 2017-04-05
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵春峰;李胜忠;金晓荣;徐君锋;乔新国 申请(专利权)人 浙江精功新能源有限公司
代理机构 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) 代理人 蒋卫东
地址 312000 浙江省绍兴市柯桥区柯西工业区鉴湖路1809号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅坩埚护板,包括护板,还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚;所述护板的外侧面上靠近下端位置铺设有石墨软毡。本实用新型多晶硅坩埚护板可提高互换性和利用率,同时又可确保多晶硅质量。