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一种硅微谐振式加速度计

基本信息

申请号 CN201810095264.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108490216A 公开（公告）日 2018-09-04
申请公布号 CN108490216A 申请公布日 2018-09-04
分类号 G01P15/097 分类 测量；测试;
发明人 段晓敏;周骏 申请（专利权）人 嘉兴市纳杰微电子技术有限公司
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 嘉兴市纳杰微电子技术有限公司
地址 314000 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)1号楼306室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的一种硅微谐振式加速度计，微机械杠杆机构的力臂远离锚体的一端固定在质量块上，谐振器的运动部件与力臂连接，并由力臂带动产生位移，谐振器关于质量块的中线对称设置，相互对称的两个谐振器的运动部件在受力后位移方向相反，谐振器关于质量块的中线对称设置，使得两个谐振器工作模态的谐振频率相等，两个谐振器分布在质量块的两端可以大大减小谐振结构的互扰，减小加速度计的噪声水平，并且，由于谐振器位于质量块的两端，可大大减小由于质量块加工不对称引起谐振结构的不对称振动，因此，大大降低了因工艺误差、温度变化与环境振动引起的漂移，从而从结构上有效的抑制了环境因素的干扰，有效提高了加速度计的灵敏度。