一种晶圆取放机构
基本信息
申请号 | CN202121442334.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216054630U | 公开(公告)日 | 2022-03-15 |
申请公布号 | CN216054630U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 夏俭波;李青桦;陈志刚;徐鹏飞 | 申请(专利权)人 | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
代理机构 | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 邓爱民 |
地址 | 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆取放机构,主要针对操作空间受限场景下使用,包括机械臂、固定座、软质弹性体以及真空软管,真空软管一端连接真空源,另一端连接软质弹性体;机械臂上设有凹槽,固定座被固定安装在凹槽底面上,软质弹性体固定安装在固定座上,软质弹性体的顶面高于凹槽两侧的机械臂表面。为了节约成本,软质弹性体可以采用橡胶材质,同时固定座厚度小于凹槽深度,但需保证软质弹性体顶面至机械臂底面总厚度符合操作空间允许值;考虑到一旦吸力过大且橡胶老化,晶圆容易与机械臂发生碰撞划伤,还可以将固定座厚度增加至与凹槽深度相同,软质弹性体更换为碳纤维且降低其高度即可。 |
