一种晶圆取放机构

基本信息

申请号 CN202121442334.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216054630U 公开(公告)日 2022-03-15
申请公布号 CN216054630U 申请公布日 2022-03-15
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 夏俭波;李青桦;陈志刚;徐鹏飞 申请(专利权)人 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
代理机构 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 代理人 邓爱民
地址 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种晶圆取放机构,主要针对操作空间受限场景下使用,包括机械臂、固定座、软质弹性体以及真空软管,真空软管一端连接真空源,另一端连接软质弹性体;机械臂上设有凹槽,固定座被固定安装在凹槽底面上,软质弹性体固定安装在固定座上,软质弹性体的顶面高于凹槽两侧的机械臂表面。为了节约成本,软质弹性体可以采用橡胶材质,同时固定座厚度小于凹槽深度,但需保证软质弹性体顶面至机械臂底面总厚度符合操作空间允许值;考虑到一旦吸力过大且橡胶老化,晶圆容易与机械臂发生碰撞划伤,还可以将固定座厚度增加至与凹槽深度相同,软质弹性体更换为碳纤维且降低其高度即可。