自动取片方法、自动取片控制系统、计算机存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202210123154.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114156216A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114156216A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王欣松 | 申请（专利权）人 | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 代理机构 | 绍兴市知衡专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓爱民 |
| 地址 | 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆的自动取片方法、自动取片控制系统及计算机存储介质，自动取片方法包括：选择底部无晶圆的第X格槽为真空测试格槽，从真空测试格槽下方距离mx位置插入机械臂；向上移动机械臂至真空测试格槽，开启与机械臂上的吸附孔相连接的抽真空装置；获取吸附孔的真空值，若真空值≥真空阈值，则机械臂退出晶圆盒以进行取片，若真空值＜真空阈值，真空测试格槽上方的最邻近格槽为新的真空测试格槽，重复上述步骤，直至取完待取晶圆。本发明尤其适用于较薄的晶圆以及翘曲变形明显的晶圆，取片成功率高，无需事先确定晶圆位置，方案简单、可行性高。 |
