光罩组及晶圆标注方法
基本信息
| 申请号 | CN202210135132.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114185244A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114185244A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | G03F1/38（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张弓玉帛;徐圣强;袁立春 | 申请（专利权）人 | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹廷廷 |
| 地址 | 312000浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光罩组及晶圆标注方法，该光罩组具有第一光罩和第二光罩，第一光罩具有多个第一晶粒图形区，第一晶粒图形区中设有第一标识，各个第一晶粒图形区的第一标识均相同，第二光罩设置有多个与第一光罩上的第一晶粒图形区一一对应的第二晶粒图形区，各个第二晶粒图形区均包括相同的身份标识区，身份标识区中设有与晶圆上各个曝光区域一一对应且互不相同的第二标识。利用第一光罩和第二光罩的先后曝光以及相应的光刻套刻对准偏差，能够为晶圆上每颗晶粒都标注上与之相配的曝光区域的身份标识或者晶粒自己的唯一身份标识，由此使得每一颗晶粒从晶圆上切割下来后仍然能被识别出其原先在晶圆的哪个曝光区域或者哪个位置坐标。 |
