一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110491264.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113185279A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113185279A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/08 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 张倍维;陆映东;王凯;梁盈祥;宋春华 | 申请（专利权）人 | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 韦微 |
| 地址 | 545616 广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）取净化处理过的ITO靶材废料进行破碎；（2）破碎后的粉料，用20‑40目筛网过筛，未过筛网的较大碎颗粒回收，过筛网的粉料待用；（3）再将粉料用100‑200目筛网过筛，未过筛网的粉料为粗颗粒，过筛网的粉料为细粉；（4）按粗颗粒、细粉体积比例5‑8:2‑4计，取粗颗粒、细粉与PVA水溶液混合；（5）造粒；（6）压制成型；（7）烧结后得到氧化铟锡蒸镀靶材。该方法利用ITO靶材废料制成的粗颗粒作为骨料，细粉作为基质粉料，无需高温钝化处理，能耗低，工艺流程简单，成本低，效率高，适合批量生产。 |
