一种平面靶材绑定间隙的清理装置

基本信息

申请号 CN202022976247.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214022129U 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN214022129U 申请公布日 2021-08-24
分类号 B08B1/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 梁盈祥;陆映东;张倍维;王凯;宋春华 申请(专利权)人 广西晶联光电材料有限责任公司
代理机构 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 代理人 韦微
地址 545616广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种平面靶材绑定间隙的清理装置,包括底座、上框架、升降控制轴、左转动轴组件、右转动轴组件、电机和由电机带动的环状清理丝线,上框架插接在底座上,升降控制轴上部设置有用于顶升上框架的定位轴承,升降控制轴穿过上框架,升降控制轴的下部与底座通过螺纹连接,左、右转动轴组件主要是由转动轴支架和滚动定位轴承构成,左、右转动轴组件通过转动轴支架分别安装在上框架的两侧,环状清理丝线张紧安装在左、右转动轴组件的滚动定位轴承以及电机的转轴上。该装置采用由电机带动的环状清理丝线对平面靶材的间隙进行清理,即采用机械清理的方式代替原来的手工清理,极大的降低了操作难度,提高了产品质量稳定性。