一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法
基本信息
| 申请号 | CN201911214635.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110747438B | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN110747438B | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 马超宁;陈标;刘所心;郭朋 | 申请（专利权）人 | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 韦微 |
| 地址 | 545616广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，包括以下步骤：（1）将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；（2）将旋转靶材内壁与背衬管外壁分别涂覆一层高温无机胶粘剂，加热至115‑125℃，保温1‑3h，再最后对旋转靶材内壁与背衬管外壁进行超声波涂铟；所述高温无机胶粘剂是由环氧树脂和物质A构成，所述物质A是铜粉、铟粉、银粉和石墨中的一种或多种；（3）将旋转靶材与背衬管进行金属化处理。本发明方法可以无需考虑靶材体、焊料层和背衬管三者的热膨胀系数，绑定完成的靶材具有很好的贴合强度，杜绝后期使用中靶材体与背衬管脱离的风险，从而提高旋转靶材的利用率。 |
