一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法
基本信息
| 申请号 | CN201911043184.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112746251A | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN112746251A | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/56;B22D19/04 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈标;刘所心;郭朋;段宇龙 | 申请（专利权）人 | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 韦微 |
| 地址 | 545616 广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。本发明在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。 |
