光伏全工序PL检测模块

基本信息

申请号 CN202110278825.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113257695A 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN113257695A 申请公布日 2021-08-13
分类号 H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘怀广;王骏明;苗泽志;史孟杰 申请(专利权)人 无锡市瑞能科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214233江苏省无锡市宜兴市张渚工业开发区宇龙路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光伏全工序PL检测模块,包括壳体、面阵相机、LED光源组、大功率线激光源、线扫相机、硅片传送定位平台、陶瓷底板、面阵数据线、线扫数据线、图像控制处理一体机;本发明充分利用了光伏不同工序PL激发方式的特点,线扫相机与大功率线激光组合实现原硅片、制绒片的运动中检测,并通过激光垂直照射,皮带预留检测空隙,下方放置陶瓷底板的方式,保证高能量下的检测安全;面阵相机与LED光源组合实现扩散后工序硅片停顿状态的检测;在光伏全工序PL检测的同时,实现各工序PL检测效果最佳化。