PL检测仪
基本信息
| 申请号 | CN202022146567.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214150439U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214150439U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G01N21/63（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王骏明;苗泽志;史孟杰;王恺 | 申请（专利权）人 | 无锡市瑞能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214233江苏省无锡市宜兴市张渚工业开发区南埠路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PL检测仪，包括壳体、相机、上光源组、下光源组、检测平台、多组透明细线、图像传输控制线、图像控制处理一体机；本实用新型通过透明细线支撑的方式承接硅片，避免了检测过程可能对硅片造成的二次污染，且透明细线的使用让硅片上下都有PL激发光源成为可能，实现了PL检测效果最佳化。 |
