提高烧结炉传送带表面氧化层可靠性的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

提高烧结炉传送带表面氧化层可靠性的方法

基本信息

申请号	CN202110923667.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113804004A	公开（公告）日	2021-12-17
申请公布号	CN113804004A	申请公布日	2021-12-17
分类号	F27D7/02（2006.01）I;F27D7/06（2006.01）I;F27B9/24（2006.01）I;H01L23/14（2006.01）I	分类	炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人	祝林;贺贤汉;阳强俊;戴洪兴	申请（专利权）人	上海富乐华半导体科技有限公司
代理机构	上海申浩律师事务所	代理人	赵建敏
地址	200444上海市宝山区山连路181号3幢
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种提高烧结炉传送带表面氧化层可靠性的方法，包括：第一氧化处理段，将高温烧结炉的温度设置在990℃～1010℃，通入氮气，将传送带进行循环空运转，并在每次运转时确保在炉内保持停留时间；传送带循环空运转时间为1～2天；第二氧化处理段，将高温烧结炉的温度调整至1065℃～1075℃，通入氮气，将经步骤1处理后的传送带再次进行循环空运转，并在每次运转时确保炉内停留时间；传送带持续进行空运转的时间为4～5天。通过本发明的两段式氧化处理，将传送带氧化时间从需12～15天左右缩短到5～7天左右，降低氧化处理时间，提高了烧结炉的产能及生产效率。与此同时，也降低了炉膛的清理频率，从原来的60天，提高至180天以上，提高了产品的烧结良率。