一种自动设置调频边界的方法和射频电源
基本信息
| 申请号 | CN202110296477.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113065237A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113065237A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G06F30/20;G06F17/16;H01J37/32 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 邱文杰;刘洋;黄阳 | 申请（专利权）人 | 四川英杰电气股份有限公司 |
| 代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 韩洋 |
| 地址 | 618000 四川省德阳市金沙江西路686号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电源领域，特别涉及一种自动设置调频边界的方法和射频电源。本发明的方法对射频电源的输出电压和电流进行跳频采样，然后计算负载降阶模型参数矩阵，得到负载模型幅频曲线多项式方程，对多项式方程进行偏导求解，由此构建负载频率关系函数；求得使所述负载频率关系函数的值小于零的频率范围，所述频率范围的边界即调频边界；在调频边界内进行频率微调查找匹配频率。本发明能够自动计算调谐的频率边界，在边界内微调频率，能够快速实现频率调谐达到阻抗匹配，大大缩短了调谐时间，且不需要人工干预，可靠性高。 |
