一种基于加速度传感器的晶圆定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202023178211.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752659U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752659U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 董怀宝;刘恩龙;高飞翔 | 申请（专利权）人 | 上海广川科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龙;吴世华 |
| 地址 | 200444上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于加速度传感器的晶圆定位装置，包括晶圆盒以及位于晶圆盒一侧的检测单元，所述晶圆盒自上而下设置用于承载晶圆的装载台；所述检测单元包括控制器、检测框架以为位于检测框架中的滑轨、限位传感器、加速度传感器、检测盖和晶圆扫描传感器；其中，所述晶圆扫描传感器和加速度传感器固定在所述检测盖上，所述限位传感器固定在所述检测框架一侧；所述检测盖沿着所述滑轨上下移动；所述限位传感器、加速度传感器和晶圆扫描传感器连接至控制器；本实用新型提供的一种基于加速度传感器的晶圆定位装置及方法，能够快速准确地确定晶圆盒中晶圆的位置，且整个检测装置占地面积小，成本较低。 |
