一种可变间距的晶圆检测装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种可变间距的晶圆检测装置

基本信息

申请号	CN202120419188.9	申请日	-
公开（公告）号	CN214201803U	公开（公告）日	2021-09-14
申请公布号	CN214201803U	申请公布日	2021-09-14
分类号	G01V8/12（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	武一鸣;古市昌稔	申请（专利权）人	上海广川科技有限公司
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	陶金龙;吴世华
地址	200444上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层
法律状态	-

摘要

本实用新型提供的一种可变间距的晶圆检测装置，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上。本实用新型提高了晶圆检测和搬运效率；提高了可变间距的晶圆检测装置的适用范围以及检测结果的准确性。