一种用于晶圆翻转的后置偏心装置
基本信息
| 申请号 | CN202110623107.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113352336A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113352336A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | B25J11/00（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 曲泉铀;古市昌稔;刘洋 | 申请（专利权）人 | 上海广川科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龙;吴世华 |
| 地址 | 200444上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆翻转的后置偏心装置，包括支撑座，固定在支撑座上的θ轴，位于θ轴上的机械下臂和机械上臂，固定在机械上臂末端的翻转机构，其中，机械下臂的一端固定在θ轴上，另一端固定在机械上臂的一端，机械上臂的另一端固定连接翻转机构；所述翻转机构包括翻转底座，电机和翻转轴，其中，翻转轴的一端连接固定在翻转底座前端，另一端固定连接末端执行器，末端执行为中空心结构，且末端执行器内部包含气路，末端执行器的下端包含均匀分布且与气路相通的吸盘，气路的另一端连接真空泵。本发明可以消除现有技术中的晶圆与机械下臂或框架触碰的问题，同时使得末端执行器采用真空吸附晶圆的同时能够随意翻转。 |
