负载锁定装置及基片传片方法
基本信息
| 申请号 | CN202110242869.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035752A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113035752A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高飞翔;李世敏;冯琳 | 申请（专利权）人 | 上海广川科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龙;吴世华 |
| 地址 | 200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种负载锁定装置及基片传片方法，腔室主体包括：基片基座、若干置放组件和支撑组件，水平状态的第一置放件的支撑端平行于所述基片基座的顶面，竖直状态的所述第一置放件的所述支撑端垂直于所述基片基座的顶面；初始位置的支撑杆的顶面低于所述基片基座的顶面，第一位置的所述支撑杆的顶面高于所述基片基座的顶面，且高于水平状态的所述第一置放件的所述支撑端。通过设置可翻转转动的置放组件，实现2片基片的承载，提高了负载错定装置的基片承载率。 |
