一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法
基本信息
申请号 | CN201710819817.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107604440A | 公开(公告)日 | 2018-01-19 |
申请公布号 | CN107604440A | 申请公布日 | 2018-01-19 |
分类号 | C30B29/40;C30B28/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 | 申请(专利权)人 | 南京金美镓业有限公司 |
代理机构 | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 杜依民 |
地址 | 211165 江苏省南京市江宁开发区将军大道718号南京锗厂内 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法,用扩散法合成磷化铟时,在密封的石英容器中放置磷和金属铟,在2.5小时内将磷蒸汽压力升到27.5大气压,将金属铟加热到1090℃,加快反应速度,可合成致密的磷化铟多晶锭。生成的磷化铟多晶锭载流子浓度均在1015cm‑3范围内。 |
