一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法

基本信息

申请号 CN201710819817.5 申请日 -
公开(公告)号 CN107604440A 公开(公告)日 2018-01-19
申请公布号 CN107604440A 申请公布日 2018-01-19
分类号 C30B29/40;C30B28/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 申请(专利权)人 南京金美镓业有限公司
代理机构 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 代理人 杜依民
地址 211165 江苏省南京市江宁开发区将军大道718号南京锗厂内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法,用扩散法合成磷化铟时,在密封的石英容器中放置磷和金属铟,在2.5小时内将磷蒸汽压力升到27.5大气压,将金属铟加热到1090℃,加快反应速度,可合成致密的磷化铟多晶锭。生成的磷化铟多晶锭载流子浓度均在1015cm‑3范围内。