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一种高性能RF MEMS电容式开关

基本信息

申请号 CN201920515959.7 申请日 -
公开（公告）号 CN209461307U 公开（公告）日 2019-10-01
申请公布号 CN209461307U 申请公布日 2019-10-01
分类号 H01H1/00 分类 基本电气元件;
发明人 肖倩;王竞轩;陈涛;刘泽文 申请（专利权）人 苏州希美微纳系统有限公司
代理机构 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 代理人 陈晓瑜
地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号西北区9栋402室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种高性能RF MEMS电容式开关，包括有衬底，衬底上分布有微波传输线，微波传输线上依次固定有介质层和电容上极板，微波传输线两侧分布有地结构，地结构开设有电极容纳槽，电极容纳槽内设置有开关驱动电极，且开关驱动电极底部固定于衬底上，开关驱动电极上方镜像悬挂有金属膜桥，金属膜桥同时连接地结构，地结构上设有开口，开口内设有引线，开口上连接有金属引线盖。能够让驱动电极远离微波传输线，对信号传输的影响很小，插入损耗更低。可以实现“OFF”、“ON”状态，对地电容值可分别调节。金属膜桥架设在开口上方，保证共面波导完整性，从而减小插入损耗。整体构造简单，易于制造。