首页/ 苏州希美微纳系统有限公司/ 专利详情

一种翘板结构的RF MEMS接触式开关

基本信息

申请号 CN201920516004.3 申请日 -
公开（公告）号 CN209461308U 公开（公告）日 2019-10-01
申请公布号 CN209461308U 申请公布日 2019-10-01
分类号 H01H1/00;H01H3/04 分类 基本电气元件;
发明人 肖倩;王竞轩;陈涛;刘泽文 申请（专利权）人 苏州希美微纳系统有限公司
代理机构 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 代理人 陈晓瑜
地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号西北区9栋402室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，衬底上分布有微波传输线，微波传输线两侧分布有地结构，地结构内开设有驱动电极收纳槽，驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，微波传输线上平行架设有悬臂梁，悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。由此，采用翘板式结构，具有双稳态，开关可靠性更高。“ON”转“OFF”态时，由于有驱动力和悬臂梁自身回复力的双重作用，响应时间更快。在“OFF”态时，金属膜桥与地接触，使得开关隔离度更高。